半導(dǎo)體行業(yè)制氮機(jī)

半導(dǎo)體行業(yè)制氮機(jī)簡介：

  半導(dǎo)體行業(yè)用氮?dú)鈾C(jī)，半導(dǎo)體行業(yè)用制氮機(jī)，半導(dǎo)體行業(yè)用氮?dú)鈾C(jī)，半導(dǎo)體行業(yè)用制氮機(jī)

  變壓吸附的原理是在吸附平衡情況下，任何一種吸附劑在吸附同一氣體時(shí)，氣體壓力越高，則吸附量越大，反之，壓力越低，則吸附量越小。PSA制氮設(shè)備的部分是碳分子篩，在空氣壓力升高時(shí)，碳分子篩將大量吸附氧氣、二氧化碳和水分，當(dāng)壓力降到常壓時(shí)，碳分子篩對(duì)氧氣、二氧化碳和水分的吸附量非常小。
 

半導(dǎo)體行業(yè)制氮機(jī)的技術(shù)指標(biāo)：
流量3-3000Nm3 /h，
純度95%-99.9999%，
壓力≤0.8MPa，
露點(diǎn)≤-45℃.
1、壓縮空氣凈化組件 
  空氣壓縮機(jī)提供的壓縮空氣首先通入壓縮空氣凈化組件中，壓縮空氣先由管道過濾器除去大部分的油、水、塵，再經(jīng)冷凍干燥機(jī)進(jìn)一步除水、精過濾器除油、除塵，并由在緊隨其后的超精過濾器進(jìn)行深度凈化。根據(jù)系統(tǒng)工況，優(yōu)埃基氣體特別設(shè)計(jì)了一套壓縮空氣除油器，用來防止可能出現(xiàn)的微量油滲透，為碳分子篩提供充分保護(hù)。設(shè)計(jì)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)目諝鈨艋M件確保了碳分子篩的使用壽命。經(jīng)本組件處理后的潔凈空氣可用于儀表空氣。
2、空氣儲(chǔ)罐 
  空氣儲(chǔ)罐的作用是：降低氣流脈動(dòng)，起緩沖作用；從而減小系統(tǒng)壓力波動(dòng)，使壓縮空氣平穩(wěn)地通過壓縮空氣凈化組件，以便充分除去油水雜質(zhì)，減輕后續(xù)PSA氧氮分離裝置的負(fù)荷。同時(shí)，在吸附塔進(jìn)行工作切換時(shí)，它也為PSA氧氮分離裝置提供短時(shí)間內(nèi)迅速升壓所需的大量壓縮空氣，使吸附塔內(nèi)壓力很快上升到工作壓力，保證了設(shè)備可靠穩(wěn)定的運(yùn)行。 
3、氧氮分離裝置 
  裝有專用碳分子篩的吸附塔共有A、B兩只。當(dāng)潔凈的壓縮空氣進(jìn)入A塔入口端經(jīng)碳分子篩向出口端流動(dòng)時(shí)，O2、CO2和H2O被其吸附，產(chǎn)品氮?dú)庥晌剿隹诙肆鞒觥＝?jīng)一段時(shí)間后，A塔內(nèi)的碳分子篩吸附飽和。這時(shí)，A塔自動(dòng)停止吸附，壓縮空氣流入B塔進(jìn)行吸氧產(chǎn)氮，對(duì)并A塔分子篩進(jìn)行再生。分子篩的再生是通過將吸附塔迅速下降至常壓脫除已吸附的O2、CO2和H2O來實(shí)現(xiàn)的。兩塔交替進(jìn)行吸附和再生，完成氧氮分離，連續(xù)輸出氮?dú)狻Ｉ鲜鲞^程均由可編程序控制器（PLC）來控制。當(dāng)出氣端氮?dú)饧兌却笮≡O(shè)定值時(shí)，PLC程序作用，自動(dòng)放空閥門打開，將不合格氮?dú)庾詣?dòng)放空，確保不合格氮?dú)獠涣飨蛴脷恻c(diǎn)。氣體放空時(shí)利用消音器消聲使噪聲小于75dBA。 
4、氮?dú)饩彌_罐 
  氮?dú)饩彌_罐用于均衡從氮氧分離系統(tǒng)分離出來的氮?dú)獾膲毫图兌龋ＷC連續(xù)供給氮?dú)夥€(wěn)定。同時(shí)，在吸附塔進(jìn)行工作切換后，它將本身的部分氣體回充吸附塔，一方面幫助吸附塔升壓，另外也起到保護(hù)床層的作用，在設(shè)備工作過程中起到極重要的工藝輔助作用。
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中小型制氮機(jī)，移動(dòng)式制氮機(jī)，空氣制氮機(jī)，原料空氣制氮機(jī)。

  本公司可提供產(chǎn)量從3-3000Nm3/h，純度從95%——99.9995%的氮?dú)猓蓮V泛應(yīng)用于化工、電子、紡織、煤炭、石油、天然氣、醫(yī)藥、食品、玻璃、機(jī)械、粉未冶金、磁性材料等行業(yè)。